政策标準
無塵室手套的(de)測試标準 《IEST-RP-005.3》
【提要】 由于高(gāo)科技産品的(de)精度越來(lái)越高(gāo)，愈來(lái)愈多(duō)的(de)産品被要求在相對(duì)潔淨的(de)無塵室中生産、包裝、測試，如電腦(nǎo)的(de)磁頭、硬盤、LCD、數碼像機、光(guāng)學電子等行業。在這(zhè)些行業中，會使用(yòng)到大(dà)量的(de)無塵室專用(yòng)手套用(yòng)于保護産品、人(rén)員(yuán)、環境等。
由于高(gāo)科技産品的(de)精度越來(lái)越高(gāo)，愈來(lái)愈多(duō)的(de)産品被要求在相對(duì)潔淨的(de)無塵室中生産、包裝、測試，如電腦(nǎo)的(de)磁頭、硬盤、LCD、數碼像機、光(guāng)學電子等行業。在這(zhè)些行業中，會使用(yòng)到大(dà)量的(de)無塵室專用(yòng)手套用(yòng)于保護産品、人(rén)員(yuán)、環境等。從污染的(de)角度理(lǐ)解，人(rén)被視爲潔淨室内最大(dà)的(de)污染物(wù)發生源，操作人(rén)員(yuán)通(tōng)過穿上特殊的(de)服裝系統來(lái)保護潔淨室環境，免受人(rén)員(yuán)産生的(de)污染物(wù)的(de)污染。手套作爲這(zhè)種服裝系統的(de)重要組成部分(fēn)，不但具有充分(fēn)的(de)防護作用(yòng)，同時(shí)不會污染受控環境中生産工藝的(de)關鍵區(qū)域，所以手套的(de)作用(yòng)很關鍵。IEST-RP-005.3主要就手套的(de)原料、生産、包裝、測試等做(zuò)了(le)詳細的(de)規定。
到底該選用(yòng)何種手套在無塵室中使用(yòng)，IEST沒有明(míng)确的(de)規定，但是建議(yì)從産品的(de)精度、無塵室的(de)級别、成本核算(suàn)等方面綜合考慮。一般來(lái)說，如果是ISO 5級或以上的(de)無塵室，建議(yì)使用(yòng)丁腈橡膠手套；如果是生産晶圓、磁頭、硬盤、光(guāng)學儀器等應使用(yòng)丁腈橡膠手套。
由于手套多(duō)數時(shí)候是和(hé)産品直接接觸的(de)，所以對(duì)其品質要求是非常嚴格的(de)，IEST标準要求對(duì)生産後的(de)手套，在使用(yòng)前必須進行清洗以及測試合格後方可(kě)使用(yòng)。測試主要分(fēn)四部分(fēn)：外觀檢查、物(wù)理(lǐ)測試、ESD性能測試、化(huà)學測試。下(xià)面主要介紹一下(xià)化(huà)學方面的(de)測試。
要做(zuò)化(huà)學測試，首先需要專門的(de)儀器、環境、水(shuǐ)源、輔助系統等支持，即需要建造一個(gè)實驗室。這(zhè)是一筆相當大(dà)的(de)開支，多(duō)數企業不會選擇自己做(zuò)測試，選用(yòng)專門的(de)有資格的(de)實驗室測試是一個(gè)好的(de)辦法，不過需要付出一定的(de)測試費用(yòng)。
由于對(duì)産品的(de)影(yǐng)響多(duō)是微觀因素，即一些肉眼看不見的(de)塵粒子、微生物(wù)等，所以測試手套也(yě)是從微觀方面做(zuò)出分(fēn)析：
1．LPC測試(液态塵粒測試)：LPC測試是将被測物(wù)浸泡于DI水(shuǐ)中，再進行1分(fēn)鐘(zhōng)的(de)超聲波震蕩，将附著(zhe)在被測物(wù)上的(de)塵粒溶解于DI水(shuǐ)中，然後計算(suàn)DI水(shuǐ)中液态塵粒的(de)數量的(de)方法。該測試是檢查手套潔淨度的(de)一種重要測試方法，主要看手套會跌落多(duō)少對(duì)産品有影(yǐng)響的(de)塵粒，如磁頭行業，對(duì)于大(dà)于或等于0.5um的(de)塵粒，不能超過3000個(gè)每平方厘米（@0.5um<=3000counts/cm^2）。
2．NVR(非揮發性殘留物(wù))測試：是測試手套上非揮發性殘留物(wù)含量的(de)一種測試方法，測試時(shí)，用(yòng)一定量的(de)溶劑對(duì)被測試部位進行淋洗或浸泡，收集淋洗或浸泡後的(de)溶液使溶劑揮發，用(yòng)微量天平稱量殘留物(wù)，即可(kě)得(de)出手套上非揮發性殘留物(wù)的(de)含量.NVR超标可(kě)知手套表面有非揮發性殘留物(wù)污染。在電腦(nǎo)硬盤行業，一般規定NVR<20ug/cm^2。
3．FTIR（傅立葉紅外線光(guāng)譜）測試：由于産品的(de)要求，無塵室不允許有矽油、氨基化(huà)合物(wù)、DOP等物(wù)質存在，因爲該些物(wù)質會影(yǐng)響到産品的(de)質量。因此，對(duì)手套必須進行FTIR測試。測試時(shí)，用(yòng)一定量的(de)溶劑對(duì)被測試部位進行淋洗或浸泡，收集淋洗或浸泡後的(de)溶液使溶劑揮發，将殘留物(wù)作紅外線光(guāng)譜分(fēn)析。這(zhè)種方法可(kě)以分(fēn)析出手套上是否殘留有矽油、氨基化(huà)合物(wù)、DOP等。（注意：該測試的(de)結果如果合格，則表示上述三種殘留物(wù)沒有超過敏感線，并不表示完全沒有）。
4．IC（離子測試）：是将被測物(wù)浸泡于DI水(shuǐ)中，再進行超聲波震蕩，将附著(zhe)在被測物(wù)上的(de)無機陰陽離子溶解于DI水(shuǐ)中，然後再進行色譜分(fēn)析的(de)方法。IC測試可(kě)測出被測物(wù)上陰陽離子的(de)種類，及每種離子的(de)含量。該測試最常監控的(de)離子是Cl-、NO3-、SO4-、PO4-等，一般總重量不能超過1.0(Total<1.0)。
5．GC（有機揮發物(wù)色譜測試）：是用(yòng)來(lái)分(fēn)析手套上有機污染物(wù)的(de)種類和(hé)含量的(de)一種方法。測試時(shí)，将手套加溫到一定溫度，使有機污染物(wù)揮發,将揮發出來(lái)的(de)氣體收集起來(lái)，進行色譜分(fēn)析，可(kě)得(de)出有機污染物(wù)的(de)種類和(hé)含量，當GC測試超标時(shí)，說明(míng)手套上的(de)有機污染物(wù)超标。一般在磁頭行業其标準控制在10ug/g(Total：GC<10ug/g)。
以上測試是行業中最常規的(de)幾種測試，同時(shí)IEST還(hái)規定了(le)如硫化(huà)氫測試、耐腐蝕測試、灰燼測試等，企業可(kě)以根據産品的(de)需要做(zuò)出适當的(de)選擇。