納米真空互聯綜合實驗站正在蘇州建設

據3月(yuè)28日消息，正在建設中的(de)這(zhè)個(gè)納米實驗站是目前世界上最大(dà)的(de)真空互聯科研裝置。其總體方案是：用(yòng)總長(cháng)近500米的(de)超高(gāo)真空管道，将上百台用(yòng)于材料生長(cháng)、器件制備、測試分(fēn)析的(de)大(dà)型儀器設備互聯，實現樣品在不同設備之間傳送時(shí)其表面不被氧化(huà)、沾污，不被外界大(dà)氣環境所破壞。中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所研究員(yuán)、納米真空互聯實驗站常務副總指揮丁孫安說，實驗站通(tōng)過超高(gāo)空間分(fēn)辨、時(shí)間分(fēn)辨、能量分(fēn)辨、質量分(fēn)辨等的(de)高(gāo)端能力儀器設備，對(duì)物(wù)質的(de)“本征性質”進行研究，從而實現量子材料的(de)設計、制備和(hé)表征，後摩爾時(shí)代器件加工和(hé)測試分(fēn)析，同時(shí)開展新材料、新工藝、新結構和(hé)新功能的(de)開發和(hé)研究，以及形成第三代半導體工藝包。

“這(zhè)個(gè)實驗裝置是在類似太空的(de)全真空環境下(xià)的(de)納米器件研發平台，相當于把現有的(de)加工設備統一搬到太空。”丁孫安說。

納米真空互聯實驗站是依托中科院蘇州納米所，聯合清華大(dà)學薛其坤院士團隊、中科院大(dà)連化(huà)學物(wù)理(lǐ)研究所包信和(hé)院士團隊建設的(de)。一期建設由中科院、江蘇省、蘇州市和(hé)蘇州工業園區(qū)共建，預計2018年建成，建設經費3.2億元。一期建成後将連接30多(duō)台設備，形成100米的(de)真空管道。整個(gè)實驗站的(de)總預算(suàn)是15億元。

蘇州工業園區(qū)是全球納米領域具有代表性的(de)八大(dà)産業區(qū)域之一。中科院納米所所長(cháng)楊輝說，在此建設納米真空互聯實驗站，是力圖通(tōng)過真空條件下(xià)的(de)互聯集成和(hé)若幹重大(dà)項目驗證，突破現有儀器設備的(de)功能限制，實現材料制備、測試分(fēn)析與微納加工工藝等方面協同效應，爲科研和(hé)戰略性新興産業發展提供先進的(de)、開放性的(de)平台。