潔淨室清洗要點

人(rén)們常常會聽(tīng)到這(zhè)樣的(de)說法：“潔淨室中的(de)污染又看不見，沒什(shén)麽好清潔的(de)。”“清潔前與清潔後的(de)潔淨室都一樣幹淨，所以不需要清潔”。這(zhè)兩種說法反映了(le)對(duì)潔淨室清潔維護工作的(de)一般态度。潔淨室并不僅僅是工業生産活動的(de)一個(gè)一般的(de)組成部分(fēn)，潔淨室就是而且也(yě)應當被看作是整個(gè)生産系統的(de)中心部分(fēn)，因爲一系列關鍵工藝步驟必須在其中進行。那麽究竟有沒有必要對(duì)潔淨室進行定期的(de)清潔維護呢(ne)？ 
  
在講到清潔維護的(de)重要性之前，我們先在認識一下(xià)潔淨室中的(de)四大(dà)污染來(lái)源： 
★ 潔淨室中的(de)工具設備在運轉的(de)過程中會向潔淨室空間擴散粒子. 
★ 潔淨室中的(de)産品也(yě)會向潔淨室空間擴散粒子. 
★ 潔淨室中的(de)設施，例如地面、牆面、天花闆等，一刻不停地擴散著(zhe)粒子. 
★ 潔淨室中的(de)人(rén)員(yuán)是污染的(de)主要來(lái)源，潔淨室中的(de)污染有80%都來(lái)自于人(rén)員(yuán)散發的(de)粒子. 

既然潔淨室有這(zhè)麽多(duō)污染來(lái)源，爲什(shén)麽潔淨室“看上去”還(hái)那麽幹淨呢(ne)？那是因爲我們肉眼隻能看到粒徑大(dà)于50um的(de)塵粒，需要用(yòng)顯微鏡才能看到小于50um的(de)塵粒。（如下(xià)圖所示）而對(duì)于許多(duō)精密制造業來(lái)說，例如芯片制造業，任何大(dà)于0.1um的(de)塵粒都會對(duì)産品造成危害。此時(shí)，就需要通(tōng)過潔淨室和(hé)污染控制技術來(lái)達到合格的(de)生産環境。 

我們知道，潔淨室可(kě)以通(tōng)過送風系統達到自淨的(de)目的(de)，但是通(tōng)過循環風系統隻能去除一部分(fēn)污染，仍會有大(dà)量的(de)污染物(wù)在重力作用(yòng)和(hé)布朗運動的(de)作用(yòng)下(xià)造成堆積。堆積在表面的(de)污染物(wù)并不是靜止不動的(de)，污染物(wù)會通(tōng)過表面直接或通(tōng)過空氣和(hé)人(rén)員(yuán)等媒介間接地與産品發生“接觸”，這(zhè)種“接觸”就會對(duì)産品造成污染，導緻産品不良。 

此時(shí)，對(duì)潔淨室進行定期的(de)清潔維護就顯得(de)非常有必要了(le)。我們進行清潔維護的(de)目的(de)首先在于去除污染，已達到潔淨室設計建造時(shí)預期的(de)潔淨度，但最終還(hái)是爲了(le)保護我們的(de)産品不受污染，提高(gāo)産品的(de)優率。因此，我們可(kě)以将潔淨室清潔維護定義爲：“從潔淨室内或潔淨區(qū)内重要性各不相同（對(duì)潔淨度而言）的(de)表面，釋放出所有不希望的(de)污染物(wù)，并把它們收集起來(lái)清除掉。” 

我們可(kě)以把清潔工作分(fēn)爲兩大(dà)範疇，預防性清潔和(hé)主動清潔。預防性清潔就是，防止産生污染物(wù)及防止外部環境的(de)污染物(wù)傳入到潔淨室環境，或者使其達到最小；防止污染物(wù)在關鍵區(qū)域中擴散。爲主動清潔所采取的(de)全部準備措施，也(yě)屬于預防性清潔。而主動清潔則是将污染物(wù)從關鍵區(qū)域中釋放出來(lái)。這(zhè)裏，我們重點講一下(xià)主動清潔的(de)方法和(hé)原則。 

根據所使用(yòng)的(de)工具不同，主動清潔的(de)方法可(kě)以分(fēn)爲幹法和(hé)濕法。幹法就是使用(yòng)真空吸塵器，或者是幹的(de)工具或粘著(zhe)方法進行清潔。使用(yòng)幹法隻能去除部分(fēn)塵粒，粒子越小，其附著(zhe)在表面的(de)力就越大(dà)，并且粒子附著(zhe)在表面的(de)時(shí)間越長(cháng)，就越難以将其清除。濕法清潔是對(duì)幹法的(de)有效補充。附著(zhe)在表面的(de)較小粒子，很難用(yòng)真空吸塵器吸走，因爲真空吸塵器達不到清除粒子所需的(de)風速。此時(shí)，使用(yòng)無塵拖把或無塵布配合清潔溶劑進行清潔就能有效地去除污染。同時(shí)，爲了(le)避免交叉污染，清潔時(shí)還(hái)應遵循從上到下(xià)，從裏到外的(de)清潔原則，并采用(yòng)直線方向部分(fēn)重疊的(de)擦拭方法。 

總之，定期對(duì)潔淨室進行清潔維護對(duì)于潔淨室性能的(de)維持有著(zhe)重要的(de)意義。作爲潔淨室工作者，一定要重視這(zhè)項看似簡單的(de)工作。