無塵室防止微粒污染四項基本原則

 
無塵室内的(de)浮遊微粒子濃度，使用(yòng)高(gāo)性能的(de)過濾器即可(kě)容易達到零水(shuǐ)平，實際的(de)生産現場(chǎng)由于作業者、機器、周邊機械的(de)發塵及基闆運送時(shí)所接觸的(de)零件材料的(de)發塵等，在制造品周邊揚起了(le)少許的(de)微粒子，因而造成了(le)元件清潔面的(de)粒子污染。 

無塵室内該如何防止微粒子污染呢(ne)？應遵守下(xià)列四項基本原則： 

一、不攜入 

在無塵室内不攜入微粒子的(de)方法有： 

1）作業員(yuán)進入無塵室前，機台、零件攜入前應進行清潔處理(lǐ)； 

2）進入無塵室者在更衣室要穿著(zhe)不發塵、不産生靜電的(de)具特殊導電性纖維材質的(de)無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。 

3）通(tōng)過風淋室時(shí)利用(yòng)高(gāo)速幹淨空氣除去附在衣服表面的(de)粒子後，才能進入無塵室。 

4）機器及材料帶進無塵室前，應盡可(kě)能在密封狀态下(xià)帶進無塵室前室保養後用(yòng)超純水(shuǐ)擦拭，經風淋室吹淋後才進入無塵室。 

5）無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的(de)排氣用(yòng)小型fan于腰間。   

二、不發生 

在控制最大(dà)污染源--人(rén)在無塵室内的(de)微粒子發塵量的(de)同時(shí)，也(yě)應控制第二大(dà)污染源—制造機台的(de)發塵量。因物(wù)品在移動時(shí)，所産生的(de)摩擦及接觸剝離會造成發塵，而物(wù)品在移動時(shí)也(yě)會有微粒子的(de)發生。故爲了(le)控制發塵量達到最小限度應采取以下(xià)對(duì)策： 

1）減少接觸剝離發塵的(de)動作形态； 

2）采用(yòng)磨耗發塵小的(de)材質； 

3）采用(yòng)發塵小的(de)潤滑油； 

4）機台應用(yòng)空壓浮上的(de)非接觸化(huà)工作原理(lǐ)。 

三、不儲備 

若能徹底實施“不攜入”技術，無塵室内的(de)潔淨度就可(kě)以維持。但現實中人(rén)和(hé)物(wù)品的(de)頻(pín)繁出入及制造機台的(de)掣動，在廣大(dà)的(de)無塵室内要有完全潔淨度是不可(kě)能的(de)。因此“不儲備”技術快(kuài)速地在過濾器中應用(yòng)以除去已發生的(de)微粒子變得(de)非常重要。通(tōng)常已發生的(de)微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的(de)物(wù)體表面。突發性的(de)振動及不穩定的(de)氣流會使這(zhè)些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了(le)重大(dà)微粒子污染的(de)危險性。 

在最高(gāo)等級的(de)無塵室中從天花闆到地面，完全除去微粒子的(de)空氣須在0.3-0.4m/s的(de)速度作垂直向下(xià)流動。這(zhè)是在約10秒内将室内空氣和(hé)完全過濾空氣完全交換所計算(suàn)出來(lái)的(de)數值。同時(shí)，空氣的(de)流向也(yě)必須要有精确的(de)控制才行。特别要保證氣流的(de)流通(tōng)路徑暢通(tōng)無阻，因爲在流通(tōng)路徑中有障礙物(wù)的(de)話(huà)，容易産生空氣空氣渦流而形成空氣的(de)滞留區(qū)域，使得(de)附近已發生的(de)微粒子無法快(kuài)速排除而長(cháng)時(shí)間漂流在無塵室内，而一部分(fēn)會附著(zhe)在周邊機器設備的(de)表面而引起污染。 

控制氣流可(kě)防止微粒子累積，但對(duì)于帶電表面的(de)微粒累積就無法防止。

爲了(le)防止由靜電吸附而引起的(de)微粒附著(zhe)，通(tōng)常在無塵室内會使用(yòng)帶電程度在數十伏以下(xià)的(de)導電性材料。而對(duì)于制造品本身的(de)帶電，則采用(yòng)帶電程度很少的(de)搬送形态及接觸部品材料，并藉由除電裝置進行除電。 

四、排除/除去 

在無法避免大(dà)量微粒子發生的(de)機台中，爲了(le)不讓無塵室内産生微粒子，因此直接做(zuò)對(duì)外排氣的(de)動作，即所謂的(de)局部排氣。針對(duì)排氣的(de)對(duì)策如下(xià)：由于導入同量的(de)外氣是必要的(de)，但會伴随大(dà)量的(de)能源消耗。所以無法說是絕對(duì)理(lǐ)想的(de)對(duì)策。因此盡可(kě)能地在壓縮排氣量的(de)同時(shí)，不僅僅是向無塵室外排氣，而應采用(yòng)将除去粒子後的(de)空氣再回流到無塵室内之對(duì)策。