潔淨室溫濕度控制的(de)重要性

濕度控制的(de)一個(gè)重要條件,無塵車間生産一定相對(duì)濕度是無塵車間,一個(gè)常用(yòng)的(de)過程中潔淨室操作環境控制條件。典型的(de)半導體無塵車間、潔淨室控制目标中的(de)相對(duì)濕度約30至50%,範圍内的(de)允許誤差在正負1%的(de)狹窄範圍内,如光(guāng)刻區(qū)域或在遙遠(yuǎn)的(de)紫外線處理(lǐ)(DUV)或更少的(de)在其他(tā)地方可(kě)以放松+ / - 5%範圍内。 
  
近年來(lái),保持空氣處理(lǐ)過程,這(zhè)些規定的(de)範圍,我們必須采取的(de)資本和(hé)運營成本。但是爲什(shén)麽值這(zhè)麽多(duō)錢在無塵車間、潔淨室控制相對(duì)濕度?規則很簡單!由于相對(duì)濕度有一系列的(de)因素可(kě)能會使潔淨室整體性能下(xià)降,包括: 
1、細菌生長(cháng)； 
2、員(yuán)工感覺舒适房(fáng)間溫度範圍； 
3、靜電； 
4、金屬腐蝕； 
5,水(shuǐ)蒸氣凝結； 
6、光(guāng)刻退化(huà)； 
7、吸水(shuǐ)性。 
  
細菌和(hé)其他(tā)生物(wù)污染(黴菌、病毒、黴菌、螨蟲)超過60%相對(duì)濕度環境中可(kě)以活躍品種。有些細菌在相對(duì)濕度可(kě)以提高(gāo)30%以上。在相對(duì)濕度40%至60%範圍内,可(kě)使細菌和(hé)呼吸道感染的(de)影(yǐng)響降至最低。 
  
相對(duì)濕度40% - 60%的(de)範圍也(yě)溫和(hé)的(de)人(rén)體感覺舒适的(de)範圍。濕度過高(gāo)會使人(rén)們感到氣悶,低于30%時(shí),會讓人(rén)感覺幹燥,皮膚破損,和(hé)呼吸道不适和(hé)情緒沮喪。 
  
高(gāo)濕度實際上減少了(le)靜電電荷積累表面的(de)無塵車間、潔淨室──這(zhè)是所有希望的(de)結果。低濕度符合電荷積累和(hé)成爲破壞性的(de)靜電放電的(de)一個(gè)潛在來(lái)源。當相對(duì)濕度超過50%時(shí),靜電電荷開始迅速消散,但當相對(duì)濕度小于30%,它們可(kě)以在地球表面上的(de)絕緣子是否繼續存在了(le)很長(cháng)一段時(shí)間。 
  
車間的(de)35%和(hé)40%相對(duì)濕度可(kě)以用(yòng)作一個(gè)滿意的(de)妥協,半導體無塵車間、潔淨室通(tōng)常使用(yòng)額外的(de)控制裝置來(lái)限制靜電荷的(de)積累。 
  
很多(duō)化(huà)學反應的(de)速度,包括腐蝕過程,随著(zhe)相對(duì)濕度的(de)增加,加快(kuài)。所有暴露在周圍的(de)空氣無塵車間、潔淨室的(de)表面很快(kuài)就至少一個(gè)單分(fēn)子層的(de)水(shuǐ)覆蓋著(zhe)。當表面由薄金屬塗層與水(shuǐ)反應,高(gāo)濕度可(kě)以使反應速度。幸運的(de)是,某些金屬,如鋁,可(kě)以形成一層保護類型與水(shuǐ)氧化(huà),并防止進一步氧化(huà)反應;但另一種情況是,氧化(huà)銅等是不能保護,因此,在高(gāo)濕度環境中,銅表面更容易受到腐蝕。 
  
在相對(duì)濕度較高(gāo)的(de)環境中,冷(lěng)凝水(shuǐ)形成粒子之間的(de)毛細力和(hé)表面形成了(le)連接鍵,可(kě)以增加顆粒表面上的(de)粘附力和(hé)矽質。這(zhè)種效果,開爾文濃縮,當相對(duì)濕度小于50%并不重要,但是,當相對(duì)濕度是70%左右,已成爲主要的(de)力量在粒子之間的(de)附著(zhe)力。 
  
到目前爲止,最緊急的(de)半導體無塵車間、潔淨室需要适當控制光(guāng)緻抗蝕劑的(de)敏感性。由于光(guāng)刻膠的(de)性質在相對(duì)濕度敏感,它是相對(duì)濕度的(de)控制範圍的(de)要求最嚴格的(de)标準。