行業知識
潔淨室作業人(rén)員(yuán)的(de)管理(lǐ)
潔淨室作業人(rén)員(yuán)的(de)管理(lǐ)
導語：潔淨室潔淨程度的(de)維持和(hé)控制，除了(le)硬件設備配合投資外，也(yě)需要良好的(de)軟件--管理(lǐ)制度來(lái)配合，方能維持良好的(de)潔淨度。
半導體潔淨室内的(de)微污染來(lái)源，經測試分(fēn)析結果，作業人(rén)員(yuán)占約80％，如圖1所示。實驗數據顯示，作業人(rén)員(yuán)進出潔淨室時(shí)塵埃有顯著的(de)增加，有人(rén)動作時(shí)，潔淨度馬上劣化(huà)，可(kě)見潔淨度劣化(huà)之原因，人(rén)是主要因素。
潔淨室運轉管理(lǐ)，可(kě)依作業人(rén)員(yuán)、原物(wù)料、設備及潔淨室内所用(yòng)東西等加以探討(tǎo)，并依計劃（Planning）、實施（Doing）、追蹤（Checking）、動作（Action）之PDCA循環步驟執行。
潔淨室運轉管理(lǐ)最關鍵的(de)環節是作業人(rén)員(yuán)的(de)管理(lǐ)。前已提及在潔淨室内污染來(lái)源80％來(lái)自作業人(rén)員(yuán)，因此若能使作業人(rén)員(yuán)依潔淨室管理(lǐ)辦法确實執行管理(lǐ)，而所有人(rén)員(yuán)也(yě)均能配合實施，則污染源的(de)産生可(kě)說已減少大(dà)半。現就進入潔淨室的(de)作業人(rén)員(yuán)管理(lǐ)和(hé)注意說明(míng)如下(xià)：
（1） 進入潔淨室之人(rén)員(yuán)，必須具有達成高(gāo)潔淨度标準，并要維持最好狀态的(de)觀念。這(zhè)就需要加強作業人(rén)員(yuán)污染控制方面的(de)知識培訓，強化(huà)其污染控制理(lǐ)念。
（2） 作業人(rén)員(yuán)進入潔淨室數目以維持最小限度爲原則（愈小愈好），并須依潔淨室進出标準流程進出潔淨室。出則相反方向進行，但不需經風淋室脫塵處理(lǐ)。